삼불화질소(NF3)는 전자 및 반도체산업에서 특수 세정가스로 사용되는 고부가가치 제품이다.
울산화학은 반도체용 특수 세정가스(NF3)를 자체 개발하기 위해 1999년부터 50억원의 연구개발비를 투입했으며 작년 4월 시제품 생산에 성공한 바 있다.
울산화학 관계자는 "울산화학이 만들어낸 NF3는 현재 상용화된 반도체용 특수 세정 가스 중 품질이 우수하고 경쟁력 있는 공정"이라며 "해외뿐만 아니라 국내 주요 반도체·LCD 업체에 추가 공급계약 체결을 추진중에 있다"고 말했다.
울산화학은 NF3 생산을 위해 작년 9월부터 울산에 연간 10t 규모로 시범공장을 지어 가동하고 있으며 내년 7월께 연간 250t으로 생산규모를 늘려 공장을 완공할 계획이다.
회사관계자는 "총 150억원을 투자, 매년 생산라인을 증설해 2006년까지 연 500t 규모의 상용공장을 건설할 계획"이라고 밝혔다.
울산화학은 이번 공급계약 체결을 계기로 고부가가치 산업인 반도체·LCD 관련 세정가스 산업에 회사 역량을 집중하기로 했다.
한편 이번에 울산화학이 공급계약을 체결한 미국의 프렉스에어사는 전 세계 40개국에 진출해 있는 산업용 가스 제조업체로 한해 매출 51억 달러에 달하는 세계적인 업체다. 신형욱기자 shin@ksilbo.co.kr